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Mikasa

 廠 商
ミカサ株式会社
MIKASA CO., LTD.
 
簡 介

MIKASA在日本製造販賣MASK ALIGNER、SPIN COATER已經有40年以上的歷史,設備銷售超過5,000台,客戶業種多元(材料、電機、精密機械、電子零件、LED、大學、研究室等等),獲得許多客戶的好評與信賴。


Spin Coater特點說明
旋轉精度±1旋轉以內(膜厚再現性高)
可以任意設定旋轉數和達到旋轉數的時間 (膜厚均一性效果佳)
可以記憶100個階段10種模式的程式(可對應各種材料)
機台型號為MS-B150。






Mask Aligner特點說明
手動型接觸式對準曝光機
依照不同的用途和成本考量,有準直儀型、多面鏡型、和整合型三種曝光光源。
有可對應□5㎜~□100㎜及φ1inch~6inch的基板各種機型。
若要對應φ6inch以上,也可以特別訂製。
Mask Holder・載台的更換作業簡單好操作,可在一分鐘內完成,適合用於研究開發。
對準顯微鏡的對物鏡可對應高對準精度或厚膜等用途,有4×、10×、20×三種。

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